[实用新型]一种平面分离双栅薄膜晶体管有效
申请号: | 201521083246.6 | 申请日: | 2015-12-21 |
公开(公告)号: | CN205452294U | 公开(公告)日: | 2016-08-10 |
发明(设计)人: | 刘玉荣;廖荣;姚若河 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/34 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 罗观祥 |
地址: | 511458 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型属于半导体技术领域,公开了一种平面分离双栅薄膜晶体管。所述平面分离双栅薄膜晶体管,自下而上依次包括衬底、过渡层、栅电极层、绝缘栅介质层、半导体有源层、源电极/漏电极,所述源电极和漏电极相对设置于所述半导体有源层上方;所述栅电极层由两个栅电极组成,所述两个栅电极相对设置于过渡层的上方;所述栅电极与源电极/漏电极设置的方向不同。本实用新型调整两个栅极的偏压可使TFT器件呈现出不同的输出和转移特性;两个栅极可同时作为控制栅和信号栅使用,使电路得到简化,从而有效地拓展TFT的应用范围,有望解决阈值电压漂移、自动增益控制动态范围窄等问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 平面 分离 薄膜晶体管 | ||
【主权项】:
一种平面分离双栅薄膜晶体管,其特征在于:自下而上依次包括衬底、过渡层、栅电极层、绝缘栅介质层、半导体有源层、源电极/漏电极,所述源电极和漏电极相对设置于所述半导体有源层上方;所述栅电极层由两个栅电极组成。
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