[实用新型]一种气体流量的比例阀可控电流源驱动系统

摘要

本实用新型涉及一种气体流量的比例阀可控电流源驱动系统，第一级采用数模转换器产生模拟控制信号，第二级采用负反馈放大器产生恒流源，第三级通过恒流源驱动比例阀输出固定气体流量，第四级采用流量传感器和模数转换器组成的气体流量采集电路，采集比例阀输出气体的实际流量值并馈送到主控器，经PID数字算法及时调整数字信号值，进而调整恒流源值，最终使得气体流量实际值与气体流量设定值相同。本实用新型的有益效果是通过负反馈形成精密恒流源驱动比例阀输出固定的气体流量，再经气体流量采集电路将采集到的气体实际流量值送到主控器，主控器把实际流量值与设定流量值比较，经PID数字算法及时调整数字输出信号值来稳定输出气体流量，输出的气体流量具有精度可调，调整速度快等优点。

主权项

一种气体流量的比例阀可控电流源驱动系统，其特征在于，包括四级电路结构，第一级为模拟信号电路，主控器U₄通过第一连接器J₁连接数模转换器U₁产生模拟控制信号；第二级为恒流源电路，采用负反馈放大电路产生恒流源，第一级输出的模拟信号输送到第二级电路输出数控恒流源；第三级为输出电路，包括比例阀U₅，第二级输出的恒定电流驱动比例阀输出固定气体流量；第四级为气体流量采集电路，由流量传感器U₆和模数转换器U₃组成，采集第三级比例阀实际输出的气体的流量，并将采集到的流量信号反馈给主控器U₄，主控器U₄将实际输出流量与预设流量进行比较，进而调整数字信号值输出来调整恒流源值。