[实用新型]一种基于TiON的压力传感器有效

专利信息
申请号: 201521085909.8 申请日: 2015-12-22
公开(公告)号: CN205300833U 公开(公告)日: 2016-06-08
发明(设计)人: 赵勇 申请(专利权)人: 百夫长传感技术(深圳)有限公司
主分类号: G01L9/06 分类号: G01L9/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518114 广东省深圳市龙岗区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开一种基于TiON的压力传感器,包括左固定件、TiON元件和右固定件,所述左固定件包括固定螺柱和压力腔,所述固定螺柱位于左固定件的外部,所述压力腔位于左固定件的内部,所述压力腔上设置有密封膜片和O型圈,所述O型圈与密封膜片相固定。所述TiON元件位于左固定件和右固定件的中部,所述TiON元件与左固定件和右固定件相固定,所述TiON元件内部设置有填充腔,所述填充腔内设置有过载膜片,所述过载膜片上设置有传感器,所述右固定件内设置有传感块;该基于TiON的压力传感器具有使用简单和传感灵敏的优点。
搜索关键词: 一种 基于 tion 压力传感器
【主权项】:
一种基于TiON的压力传感器,其特征在于:包括左固定件、TiON元件和右固定件,所述左固定件包括固定螺柱和压力腔,所述固定螺柱位于左固定件的外部,所述压力腔位于左固定件的内部,所述压力腔上设置有密封膜片和O型圈,所述O型圈与密封膜片相固定,所述TiON元件位于左固定件和右固定件的中部,所述TiON元件与左固定件和右固定件相固定,所述TiON元件内部设置有填充腔,所述填充腔内设置有过载膜片,所述过载膜片上设置有传感器,所述右固定件内设置有传感块。
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