[实用新型]研磨设备有效
申请号: | 201521095999.9 | 申请日: | 2015-12-23 |
公开(公告)号: | CN205218799U | 公开(公告)日: | 2016-05-11 |
发明(设计)人: | 段中红;曹喜平;韩晓翠;康健;梁旭东 | 申请(专利权)人: | 圆融光电科技股份有限公司 |
主分类号: | B24B37/10 | 分类号: | B24B37/10;B24B37/013;B24B49/12 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨贝贝;黄健 |
地址: | 243000 安徽省马鞍*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提供一种研磨设备,包括:工作台、加工盘、研磨盘、控制装置、激光装置、光线位移测量装置和输出装置;加工盘设置在所述工作台上;控制装置分别与加工盘、研磨盘、激光装置、光线位移测量装置和输出装置连接;加工件设置在加工盘的圆周处,加工盘通过所述加工件与研磨盘转动连接。本实用新型提供的研磨设备,能够提高研磨晶片的效率以及晶片的成品率,进而能够提高发光二级管的制造效率。 | ||
搜索关键词: | 研磨 设备 | ||
【主权项】:
一种研磨设备,其特征在于,包括:工作台、加工盘、研磨盘、控制装置、激光装置、光线位移测量装置和输出装置;所述加工盘设置在所述工作台上;所述控制装置分别与所述加工盘、所述研磨盘、所述激光装置、所述光线位移测量装置和所述输出装置连接;加工件设置在所述加工盘的圆周处,所述加工盘通过所述加工件与所述研磨盘转动连接。
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