[实用新型]一种升华结晶装置有效
| 申请号： | 201521097346.4 | 申请日： | 2015-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN205307853U | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 王德宁;许军;邹双林;李小博;朱东林 | 申请（专利权）人： | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D7/02 | 分类号： | B01D7/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 唐循文 |
| 地址： | 210038 江苏省南京市经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种升华结晶装置，包括重力传感器、升华结晶物料、加热装置A、外管、加热装置B、装料装置及收料装置；所述加热装置A和加热装置B包覆于外管的外侧，外管内部为真空状态，且装料装置和收料装置设于外管内部；装料装置底部设有重力传感器，且升华结晶物料置于重力传感器上方。本实用新型通过在装料装置底部装设重力传感器的方法来有效控制升华结晶的进程，当升华结晶即将结束时，重力传感器即可显示数值提醒，从而工作人员即可加热，进行后续过程；准确控制了升华结晶的进程、提高了升华结晶效率、节约资源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 升华 结晶 装置 | ||
【主权项】：
一种升华结晶装置，其特征在于，包括重力传感器(1)、升华结晶物料(2)、加热装置A(3)、外管(4)、加热装置B(5)、装料装置(6)及收料装置(7)；所述加热装置A(3)和加热装置B(5)包覆于外管(4)的外侧，外管(4)内部为真空状态，且装料装置(6)和收料装置(7)设于外管(4)内部；装料装置(6)底部设有重力传感器(1)，且升华结晶物料(2)置于重力传感器(1)上方。
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