[实用新型]真空镀膜用防腐蚀靶芯有效
| 申请号： | 201521101149.5 | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN205590790U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 曹明刚;孙亚楠;王静;杨兴;范兵;闫超一;朱磊 | 申请（专利权）人： | 沧州天瑞星光热技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 061000 河北省沧州*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，包括磁铁基座、锌块、磁铁、靶材，所述磁铁基座为中空圆管，磁铁基座两端为不锈钢材质，磁铁基座中间为碳钢，磁铁基座上设有锌块，所述磁铁外表面设有一层防腐蚀层，磁铁设置在磁铁基座上，所述靶材为中空圆管，靶材通过两端固定套设在磁铁基座上。该真空镀膜用防腐蚀靶芯通过将磁铁基座与活泼金属锌块连接从而形成原电池，同时在磁铁的外表面包覆或涂覆一层防腐蚀层，将磁铁与冷却水隔离，从而避免了由于电化学腐蚀而导致的磁铁基座和磁铁生锈。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 腐蚀 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜用防腐蚀靶芯，其特征在于，包括磁铁基座、锌块、磁铁及靶材，所述磁铁基座为中空圆管，磁铁基座两端为不锈钢材质，磁铁基座中间为碳钢，磁铁基座上设有锌块，所述磁铁外表面设有一层防腐蚀层，磁铁设置在磁铁基座上，所述靶材为中空圆管，靶材通过两端固定套设在磁铁基座上。
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