[实用新型]真空镀膜机充气装置有效
| 申请号： | 201521109101.9 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205258584U | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 容春华;毛祖献;段元成 | 申请（专利权）人： | 苏州金研光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215215 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一真空镀膜机充气装置，其包括一端连通大气另一端连接所述真空镀膜机的真空腔的充气管，所述充气管上设置一控制阀，其特征在于：还包括一中空的外罩，所述充气管设置在所述外罩内腔中，所述外罩的一端气密封地固定在所述真空镀膜机的外壳上，所述外罩的另一端开口，所述外罩开口处设置有将所述外罩开口封闭的第一过滤网。本实用新型的真空镀膜机相比现有技术，具有以下优点：减缓放气系统的空气流动；避免在真空室内出现空气回旋,造成产品永久性的不良；提高良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 充气 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机充气装置，其包括一端连通大气另一端连接所述真空镀膜机的真空腔的充气管，所述充气管上设置一控制阀，其特征在于：还包括一中空的外罩，所述充气管设置在所述外罩内腔中，所述外罩的一端气密封地固定在所述真空镀膜机的外壳上，所述外罩的另一端开口，所述外罩开口处设置有将所述外罩开口封闭的第一过滤网。
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