[实用新型]一种镀膜机真空室温度自动控制装置有效
| 申请号： | 201521109816.4 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205443440U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 刘野;韩登科 | 申请（专利权）人： | 大连维钛克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116113 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜机真空室温度自动控制装置，包括镀膜机真空室壳体，所述镀膜机真空室壳体的底端连接有底座，所述镀膜机真空室壳体的内腔中设有一空腔，该空腔中安装有控制器和温度传感器，且温度传感器电连接控制器，所述镀膜机真空室壳体的内腔中由下至上分别设有第一加热器、第二加热器和第三加热器。该镀膜机真空室温度自动控制装置通过在每个第一加热器、第二加热器、第三加热器和转架上都安装有热偶温度检测装置，使得控制器能自动控制加热器的加热效率，从而对工件的不同温度进行调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 真空 温度 自动控制 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜机真空室温度自动控制装置，包括镀膜机真空室壳体（1），所述镀膜机真空室壳体（1）的底端连接有底座（2），其特征在于：所述镀膜机真空室壳体（1）的内腔中设有一空腔，该空腔中安装有控制器（7）和温度传感器（9），且温度传感器（9）电连接控制器（7），所述镀膜机真空室壳体（1）的内腔中由下至上分别设有第一加热器（3）、第二加热器（4）和第三加热器（5），所述第一加热器（3）、第二加热器（4）和第三加热器（5）分别电连接控制器（7），且第一加热器（3）、第二加热器（4）和第三加热器（5）的上侧均设有转架（8），所述第一加热器（3）、第二加热器（4）、第三加热器（5）和转架（8）的上表面均安装有热偶温度检测装置（6），所述热偶温度检测装置（6）电连接控制器（7）。
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