[实用新型]一种基片涂胶吸盘有效
| 申请号： | 201521109920.3 | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN205229664U | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 梁万国;李广伟;陈怀熹;张新汉;陈立元;缪龙;冯新凯;邹小林 | 申请（专利权）人： | 福建中科晶创光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 福州科扬专利事务所 35001 | 代理人： | 徐开翟 |
| 地址： | 350108 福建省福州市闽侯县上街镇海*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型的一种基片涂胶吸盘，一种基片涂胶吸盘，由吸盘主体、基片定位柱、以及密封圈组成，所述基片涂胶吸盘上表面刻有凹槽，在所述吸盘主体上表面靠近端部的位置设置有所述基片定位柱，所述吸盘主体中间设置有柱状的卡套，其中密封圈位于卡套内。在旋涂胶时，使用该基片涂胶吸盘代替常规的卡槽式吸盘，高速旋涂时脱片率低、涂胶均匀性高且设备磨损较小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 吸盘 | ||
【主权项】：
一种基片涂胶吸盘，其特征在于，由吸盘主体（101）、基片定位柱（102）、以及密封圈（103）组成，所述基片涂胶吸盘上表面刻有凹槽（104），在所述吸盘主体（101）上表面靠近端部的位置设置有所述基片定位柱（102），所述吸盘主体（101）中间设置有柱状的卡套（105），其中密封圈（103）位于卡套（105）内。
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