[实用新型]一种真空镀膜设备用绝缘联轴器结构有效
| 申请号： | 201521114328.2 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205501399U | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 黄裕祥 | 申请（专利权）人： | 广东耐信镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511400 广东省广州市广州高新技术产业开*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜设备用绝缘联轴器结构，包括本体，所述本体顶部设有靶座连接凸台，本体底部设有用于连接水冷转轴安装盘的安装凹槽，所述安装凹槽侧壁设有卡口，所述本体和凸台设有贯通的通孔。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型绝缘联轴器结构，工作性能稳定，合理解决了设备维修周期过短的问题，大幅度提高了镀膜生产效率及镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 备用 绝缘 联轴器 结构 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜设备用绝缘联轴器结构，其特征在于：包括本体，所述本体顶部设有靶座连接凸台，本体底部设有用于连接水冷转轴安装盘的安装凹槽，所述安装凹槽侧壁设有卡口，所述本体和凸台设有贯通的通孔。
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