[实用新型]一种单晶硅片

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅片，包括单晶硅片主体，单晶硅片主体正面为凹凸不平的绒面结构，所述单晶硅片主体背面为平面结构，所述单晶硅片主体中均匀掺杂分布有镓，所述单晶硅主体的绒面结构为齿形结构，本实用新型结构简单，通过掺镓在单晶硅片主体中，使得单晶硅片电阻率在不增加成本的前提实现和掺硼一样的水平，实现了晶体100%的利用并抑制了95%以上的光衰，平均消除6%的光衰，相当于效率提高一个百分点，成本下降6%，并已经产生巨大经济效益。

主权项

一种单晶硅片，包括单晶硅片主体，其特征在于，所述单晶硅片主体正面为凹凸不平的绒面结构，所述单晶硅片主体背面为平面结构，所述单晶硅片主体中均匀掺杂分布有镓，所述单晶硅片主体的绒面结构为齿形结构。