[实用新型]一种电控一体化单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种电控一体化单晶炉，包括单晶炉主体，单晶炉主体内设有坩埚，坩埚设置在坩埚底座上，坩埚底座下端设有转轴，转轴连接坩埚上升旋转机构，坩埚设置在加热装置内，加热装置外部设有绝缘层，单晶炉主体上端设有上炉腔，上炉腔与单晶炉主体之间设有隔离阀，上炉腔上端一侧设有惰性气体接口，上炉腔中设有提拉杆，提拉杆与上炉腔顶部的上升旋转机构连接，单晶炉主体上端一侧设有直径控制传感器，单晶炉主体一侧设有控制箱，本实用新型结构新颖，通过控制箱的设置，实现集中化控制管理，通过设置的直径控制传感器能够准确的把握单晶硅的生长状态，实现实时监测，提高了产品质量，也进一步提高了生产效率。

主权项

一种电控一体化单晶炉，包括单晶炉主体，其特征在于，所述单晶炉主体内设有坩埚，所述坩埚设置在坩埚底座上，坩埚底座下端设有转轴，所述转轴连接坩埚上升旋转机构，所述坩埚设置在加热装置内，所述加热装置外部设有绝缘层，所述单晶炉主体上端设有上炉腔，所述上炉腔与单晶炉主体之间设有隔离阀，所述上炉腔上端一侧设有惰性气体接口，所述上炉腔中设有提拉杆，所述提拉杆与上炉腔顶部的上升旋转机构连接，所述单晶炉主体上端一侧设有直径控制传感器，所述单晶炉主体一侧设有控制箱，所述控制箱连接直径控制传感器、坩埚上升旋转机构和上升旋转机构。