[实用新型]一种适用于大型单面研磨抛光设备的分区加压装置

摘要

本实用新型涉及一种适用于大型单面研磨抛光设备的分区加压装置，研磨抛光设备包括控制机构，分区加压装置包括外圈加压机构和内圈加压机构，控制机构连接气动机构；外圈加压机构包括与气动机构连接的气缸，气缸通过第一传动机构与研磨抛光设备的研磨抛光组件连接；内圈加压机构包括与气动机构连接的旋转接头，旋转接头与设于第一传动机构内部的第二传动机构连接，第二传动机构连接中心研磨板，中心研磨板可动设于研磨抛光组件底部中心。本实用新型的外圈加压机构整体加压，内圈加压机构完成中心加压，避免直径不同导致线速度不同时整盘晶片一致性差，外圈和内圈成品晶片一致性高，研磨抛光精度高，生产效率提升，成品合格率显著提高。

主权项

一种适用于大型单面研磨抛光设备的分区加压装置，所述研磨抛光设备包括与所述分区加压装置连接的控制机构，其特征在于：所述分区加压装置包括外圈加压机构和内圈加压机构，所述控制机构连接有气动机构；所述外圈加压机构包括与所述气动机构连接的气缸，所述气缸通过第一传动机构与所述研磨抛光设备的研磨抛光组件连接；所述内圈加压机构包括与所述气动机构连接的旋转接头，所述旋转接头与设于所述第一传动机构内部的第二传动机构连接，所述第二传动机构连接至中心研磨板，所述中心研磨板可动设于所述研磨抛光组件的底部中心。