[实用新型]玻璃基板的颗粒检查系统

摘要

本实用新型公开了一种玻璃基板的颗粒检查系统，包括工作台(10)，安装于工作台上以支撑和传送玻璃基板(20)的气浮装置(30)和传送装置(40)，位于玻璃基板上方的颗粒检查摄像头(50)，位于玻璃基板下方的光陷阱(60)，传送装置(40)包括支撑框(41)和安装于支撑框上的边轮(42)，支撑框(41)包括两个相互间隔开的支撑框单元(411)，光陷阱(60)位于二者之间。玻璃基板两侧的支撑框可以相对于玻璃基板移动，每侧支撑框均分为间隔开的两个支撑框单元，光陷阱置于二者之间，因此，通过移动支撑框可以适应不同规格的玻璃基板，并且不会妨碍光陷阱的布置，从而解决了颗粒检查系统的兼容性问题。

主权项

一种玻璃基板的颗粒检查系统，包括工作台(10)，安装于该工作台上以支撑和传送玻璃基板(20)的气浮装置(30)和传送装置(40)，位于所述玻璃基板(20)的上方且能够沿着所述玻璃基板的宽度方向运动的颗粒检查摄像头(50)，位于所述玻璃基板的下方且沿着所述玻璃基板的宽度方向延伸的光陷阱(60)，其中所述传送装置(40)包括支撑框(41)和安装于该支撑框上的边轮(42)，其特征在于，所述支撑框(41)安装于所述工作台(10)上并且能够相对于所述工作台沿着所述玻璃基板的宽度方向移动，并且在所述玻璃基板的宽度方向的每一侧，所述支撑框(41)均包括两个相互间隔开的支撑框单元(411)，所述光陷阱(60)位于该两个间隔开的支撑框单元(411)之间。