[实用新型]一种可变电极晶体生长炉有效
申请号: | 201521126659.8 | 申请日: | 2015-12-29 |
公开(公告)号: | CN205556851U | 公开(公告)日: | 2016-09-07 |
发明(设计)人: | 那木吉拉图;夏航;杨明远 | 申请(专利权)人: | 兰州四联光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 唐棉棉 |
地址: | 730000 甘肃省兰州市兰州新区*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本实用新型提供一种可变电极晶体生长炉,包括:炉筒,顶部具有炉筒口;大盖,固定在所述炉筒口上,所述大盖具有大盖口;小盖,紧固在所述大盖口上;炉体电极,位于所述炉筒中且固定在所述大盖上,所述炉筒、大盖、小盖以及炉体电极中均设置有循环水通道。所述炉体电极包括一炉体整圆环电极和两个炉体半圆环电极,所述可变电极晶体生长炉还包括加热棒电极和加热棒。加热棒半圆环电极上均布分布所述加热棒,加热棒穿过但不接触本侧加热棒半圆环电极下绝缘材料、加热棒整圆环电极,弯折回对侧加热棒半圆环电极下方的加热棒整圆环电极上。本实用新型通过炉体、大盖、小盖以及炉体电极之间的安装连接,使整个晶体生长炉实现密封状态,为生长炉中温场的稳定提供保障。 | ||
搜索关键词: | 一种 可变 电极 晶体生长 | ||
【主权项】:
一种可变电极晶体生长炉,其特征在于,所述晶体生长炉至少包括:炉筒,顶部具有炉筒口;大盖,固定在所述炉筒口上,所述大盖具有大盖口;小盖,紧固在所述大盖口上;炉体电极,位于所述炉筒中且固定在所述大盖上,所述炉筒、大盖、小盖以及炉体电极中均设置有循环水通道。
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