[实用新型]扩散自动上料机防碎片保护装置有效
申请号: | 201521128275.X | 申请日: | 2015-12-29 |
公开(公告)号: | CN205303433U | 公开(公告)日: | 2016-06-08 |
发明(设计)人: | 李柯楠;史海涛;梁利弯;刘光辉;张得方 | 申请(专利权)人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司;洛阳尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214028 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型属于光伏电池制造技术领域,涉及一种扩散自动上料机防碎片保护装置,包括横移输送线,所述横移输送线一侧安装第一合料气缸,第一合料气缸的活塞杆端安装第一合料挡块,横移输送线另一侧安装第二合料气缸,第二合料气缸的活塞杆端安装第二合料挡块,所述第二合料气缸旁边安装微动开关,第二合料气缸收缩复位时,第二合料挡块底边与微动开关的检测触杆相接触。该保护装置能有效避免石英舟拉碎硅片的问题。 | ||
搜索关键词: | 扩散 自动 上料机防 碎片 保护装置 | ||
【主权项】:
一种扩散自动上料机防碎片保护装置,其特征在于:包括横移输送线(3),所述横移输送线(3)一侧安装第一合料气缸(1),第一合料气缸(1)的活塞杆端安装第一合料挡块(2),横移输送线(3)另一侧安装第二合料气缸(5),第二合料气缸(5)的活塞杆端安装第二合料挡块(4),所述第二合料气缸(5)旁边安装微动开关(6),第二合料气缸(5)收缩复位时,第二合料挡块(4)底边与微动开关(6)的检测触杆相接触。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造