[实用新型]一种适用于硬脆基板的激光钻微孔设备有效
| 申请号： | 201521132274.2 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN205437488U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 蒋飞;韩世华;沈丹鸿 | 申请（专利权）人： | 常州英诺激光科技有限公司;深圳英诺激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/382 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 张岩 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进区常武中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于硬脆基板的激光钻微孔设备，其包括有激光头、光束传递装置、1/4波片、驱动装置、1/2波片、第一反射镜、二维振镜、场镜和载台，1/2波片设于驱动装置上，驱动装置开设有导光孔，且由驱动装置驱动1/2波片转动，1/2波片的出光面为垂直面，光束传递装置出射的激光束经过1/4波片调整激光偏正特性后，经由驱动装置和1/2波片调整激光偏正方向，1/2波片出射的激光束通过第一反射镜而进入二维振镜，再由场镜出射至硬脆材料，通过二维振镜扫描而令硬脆材料形成预设通孔。本实用新型能够改变激光的偏振特性、实时改变激光的偏振方向、改善激光强度分布、能形成正椎体沟槽以及提高钻孔质量和钻孔速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 硬脆基板 激光 微孔 设备 | ||
【主权项】：
一种适用于硬脆基板的激光钻微孔设备，其特征在于，包括有激光头，沿激光头的激光传输方向依次设有光束传递装置、1/4波片、驱动装置、1/2波片、第一反射镜、二维振镜、场镜和载台，所述载台用于放置硬脆材料，所述激光头是Q开关型线偏振激光器，所述1/2波片设于驱动装置上，所述驱动装置开设有导光孔，且由驱动装置驱动1/2波片转动，所述1/2波片的出光面为垂直面，所述光束传递装置出射的激光束经过1/4波片调整激光偏正特性后，经由驱动装置和1/2波片调整激光偏正方向，所述1/2波片出射的激光束通过第一反射镜而进入二维振镜，再由场镜出射至硬脆材料，通过二维振镜扫描而令硬脆材料形成预设通孔。
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