[实用新型]应用了低温捕集泵的高效抽真空系统有效
| 申请号： | 201521134430.9 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN205297861U | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 倪邦火 | 申请（专利权）人： | 深圳市富达冷冻设备有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型具体涉及一种应用了低温捕集泵的高效抽真空系统，包括油扩散泵、真空室、低温捕集泵、第一捕集器、第二捕集器以及低温冷阱；油扩散泵与真空室连接以在真空室中形成真空环境，低温冷阱固定在油扩散泵的泵口，第一捕集器安装在真空室的抽气孔处，第二捕集器安装在真空室的底部；低温捕集泵分别与第一捕集器、第二捕集器以及低温冷阱连接。本实用新型在真空室的抽气孔处设置了第一捕集器，在真空室的底部设置了第二捕集器，两个捕集器通过表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统中的残余气体，缩短抽真空的时间，获得洁净的真空环境；在油扩散泵的泵口设置了低温冷阱，可以防止油扩散泵返油，同时加快抽真空速度并提高极限真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 应用 低温 捕集泵 高效 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种应用了低温捕集泵的高效抽真空系统，其特征在于，包括油扩散泵、真空室、低温捕集泵、第一捕集器、第二捕集器以及低温冷阱；所述油扩散泵与真空室连接以在真空室中形成真空环境，所述低温冷阱固定在油扩散泵的泵口，所述第一捕集器安装在真空室的抽气孔处，所述第二捕集器安装在真空室的底部；所述低温捕集泵分别与第一捕集器、第二捕集器以及低温冷阱连接。
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