[实用新型]一种碳化硅颗粒收集箱

摘要

本实用新型涉及一种碳化硅颗粒收集箱，包括壳体、出气管和进气管、颗粒收集器、过滤板、气体抽吸装置和清洗液。上述收集箱利用静电吸附原理结合定向声波振动技术实现对气体中绝大部分碳化硅颗粒进行有效的收集，排除了传统工艺中还需要对颗粒物进行干燥处理的环节；同时，为实现气体安全排放，设置过滤板对气体中残余的碳化硅颗粒进行过滤处理；经过滤后的气体在排入大气或再次进入工作系统前还要经纯净水洗涤处理，进一步提高气体排放安全性，本收集箱具有结构简单紧凑、效率高、能耗低的优点。

主权项

一种碳化硅颗粒收集箱，包括壳体、出气管和进气管，所述壳体包括位于收集箱左侧的颗粒收集室、位于收集箱中部的隔离室和位于收集箱右侧的清洗室；所述进气管安装在颗粒收集室的外侧壁上，所述出气管安装在清洗室的顶壁上，其特征在于：还包括颗粒收集器、定向声波振动发生器、过滤板和抽吸装置；所述颗粒收集器位于颗粒收集室内，所述定向声波振动发生器位于颗粒收集室内侧壁上；所述抽吸装置位于位于清洗室的侧壁上，用于将气体从隔离室送入清洗室；所述过滤板位于颗粒收集室和隔离室之间，所述清洗室内装有清洗液。