[实用新型]一种高功率强流离子源四电极支撑座组件

摘要

本实用新型属于一种高功率离子源技术领域，具体涉及一种高功率强流离子源四电极支撑座组件；该组件主要包括四个大尺寸电极法兰，三个带有数条细缝结构的电极支架，三个PEEK绝缘腔。每两个法兰之间有一个绝缘腔，法兰通过O型氟橡胶密封圈与绝缘腔配合构成两端开口的真空密封绝缘腔。该电极栅支撑座组件采用了将四层电极法兰、绝缘腔以及支撑架通过密封圈密封组装之后，再次对四层支撑面进行平行度修正的方法，可以使每层电极支撑面之间的平行度达到0.04mm以内，有效降低了多个工件装配公差，降低了电极间场强的非均匀性；增大了电极系统的抽口面积，降低了电极栅层与层之间的真空度，降低高功率离子源引出期间的电击穿概率。

主权项

一种高功率强流离子源四电极支撑座组件，包括：第一法兰(1)、第一绝缘腔(2)、第二法兰(3)、第二绝缘腔(4)、第三法兰(5)、第三绝缘腔(6)、第四法兰(7)、第二电极支架(8)、第三电极支架(9)、第四电极支架(10)，第一电极栅(11)、第二电极栅(17)、第三电极栅(18)、第四电极栅(19)，其特征在于：所述第一法兰(1)用来支撑第一电极栅(11)，为第一电极栅(11)的水冷回路提供进出通道；它与第一绝缘腔(2)和第一电极栅(11)以及外部法兰配合，第一法兰(1)与第一绝缘腔(2)连接配合面上有一密封槽，用来放置O型氟橡胶密封圈；在配合面上的密封槽的靠近腔体内侧等间距排布32个螺栓，利用螺栓压紧密封圈进行第一法兰(1)与第一绝缘腔(2)真空密封；第一法兰(1)与第一电极水路连接的第一电极水管(12)，通过第一电极水管密封小法兰(13)与第一法兰(1)连接；第二法兰(3)连接第二电极支架(8)共同支撑第二电极栅(17)，并为第二电极栅(17)的水冷回路提供进出路径；第二法兰(3)与第一绝缘腔(2)、第二绝缘腔(4)、第二电极支架(8)、第二电极水管(14)连接配合；第二法兰(3)与第一绝缘腔(2)的配合面上有一个用来放置O型氟橡胶密封圈的密封槽，28个紧固螺栓在配合面上的密封槽的靠向腔体外侧等间距排布，螺栓的排布在空间上要避开水路路径；第二电极水管(14)是用来冷却第二电极栅(17)的，第二电极水管(14)的两端通过小密封法兰分别与第二法兰(3)和第二电极栅(17)连接，第二电极水管(14)共有6对；第二法兰(3)与第二绝缘腔(4)是通过O型氟橡胶密封圈和紧固螺栓压紧连接的，共有28个螺栓等间距排布在密封槽的靠近腔内侧；第三法兰(5)与第三电极支架(9)组合后用来支撑第三电极栅(18)，并给第三电极栅(18)水冷回路提供进出通道；第三法兰(5)与第二绝缘腔(4) 和第三绝缘腔(6)以及第三电极支架(9)以及第三电极水管(15)配合；第三法兰(5)与第三绝缘腔(6)的配合面上设置有密封槽，压紧密封圈的紧固螺栓孔在密封槽靠近腔体的外侧；第三法兰(5)与第二绝缘腔(4)配合面上有一个用来进行真空密封的密封槽和28个紧固螺栓孔，螺栓孔在密封槽靠近腔体的内侧；第四法兰(7)与第四电极支架(10)组合后用来支撑第四电极栅(19),并给第四电极栅(19)水冷回路提供进出路径；第四法兰(7)与第三绝缘腔(6)以及第四电极支架(10)以及第四电极水管(16)配合；第四法兰(7)与第三绝缘腔(6)配合面上也有一用来真空密封的密封槽，28个紧固螺栓在密封靠近腔体的槽内侧等间距排布。