[实用新型]一种曝光机有效
| 申请号： | 201521142679.4 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN205450559U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 凡明明 | 申请（专利权）人： | 阜阳欣奕华材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 236000 安徽省阜阳市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光机，用以解决现有技术测得的CD bias不稳定的问题。曝光机包括若干不同曝光距离的基台，每一所述基台包括基台本体和基台突起，所述基台本体用于放置待曝光的基板，所述基台突起用于确定曝光距离，所述曝光距离为所述待曝光的基板与掩膜板之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 | ||
【主权项】：
一种曝光机，其特征在于，包括若干不同曝光距离的基台，每一所述基台包括基台本体和基台突起，所述基台本体用于放置待曝光的基板，所述基台突起用于确定曝光距离，所述曝光距离为所述待曝光的基板与掩膜板之间的距离。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阜阳欣奕华材料科技有限公司，未经阜阳欣奕华材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201521142679.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型语音控制挂钟
- 下一篇：色轮散热装置、光源模组和投影系统
