[发明专利]研磨装置的构成部件用的罩、研磨装置的构成部件以及研磨装置

摘要

本发明提供一种研磨液难以固结的罩。用于研磨基板的研磨装置的构成部件用的罩具备卡止机构，该卡止机构用于卡止构成部件的主体与罩，且设置于罩的内部。露出到外部的罩的外表面不具有凹部，除罩的顶部外，露出到外部的罩的外表面不具有水平面。

主权项

1.一种研磨装置的构成部件用的罩，该研磨装置用于研磨基板，其特征在于，具备卡止机构，该卡止机构用于卡止所述构成部件的主体与所述罩，且设置于所述罩的内部，露出到外部的所述罩的外表面不具有凹部，并且除所述罩的顶部外，露出到外部的所述罩的外表面不具有水平面，所述罩的顶部以高度从中央部朝向外侧变低的方式倾斜，在所述罩的顶部的内侧的所述中央部具有加强件，所述构成部件的主体具有支承所述罩的支承部件，所述支承部件的上表面具有设置有所述卡止机构的部分，所述支承部件的设置有所述卡止机构的部分经由所述卡止机构与所述加强件连接，所述加强件与所述罩的内侧的所述中央部接触。