[发明专利]压力式流量控制装置及其流量控制开始时的超量防止方法

摘要

本发明涉及的压力式流量控制装置具备：主体，所述主体设置有连通流体入口与流体出口之间的流体通路，及连通流体通路与排气出口之间的排气通路；压力控制用控制阀，所述压力控制用控制阀固定于主体的流体入口侧，且开闭流体通路的上游侧；第一压力传感器，所述第一压力传感器检测其下游侧的流体通路内压；流孔，所述流孔设置于比所述排气通路的分歧位置更靠近下游的流体通路内；开闭阀，所述开闭阀开闭所述第一压力传感器的下游侧的流体通路；及排气用阀，所述排气用阀开闭所述排气通路。在所述压力式流量控制装置进行的流量控制开始前使排气用阀动作，且对压力控制用控制阀与开闭阀之间的流体通路空间内进行强制排气，由此可以防止流量控制开始时的超量。

主权项

1.一种压力式流量控制装置，其特征在于，具备：主体，所述主体设置有连通流体入口与流体出口之间的流体通路，及从该流体通路分歧且连通该流体通路与排气出口之间的排气通路；压力控制用控制阀，所述压力控制用控制阀相比于所述流体通路的分歧位置设置于更靠上游侧；流孔，所述流孔设置于比所述排气通路的分歧位置更靠近下游测的所述流体通路内；第一压力传感器，第一压力传感器检测所述压力控制用控制阀的下游侧且所述流孔的上游侧的流体通路内压；开闭阀，所述开闭阀开闭所述第一压力传感器的下游侧的所述流体通路；及排气用阀，所述排气用阀开闭所述排气通路，按照如下的方式构成：在进行流量的控制开始前，使所述排气用阀动作而对所述压力控制用控制阀与所述开闭阀之间的流体通路空间内进行预先排气。