[发明专利]树脂膜形成用薄片层叠体在审

专利信息
申请号: 201580002966.1 申请日: 2015-01-22
公开(公告)号: CN105793035A 公开(公告)日: 2016-07-20
发明(设计)人: 柄泽泰纪;山岸正宪 申请(专利权)人: 琳得科株式会社
主分类号: B32B27/06 分类号: B32B27/06;C09J7/24;C09J7/38;C09J201/00;H01L21/301;H01L21/683
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 谢顺星;张晶
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种能够将树脂膜形成用薄片容易从剥离薄片抽出,且能够稳定地对工件进行贴附的树脂膜形成用薄片层叠体。本发明树脂膜形成用薄片层叠体为在含有支撑薄片及树脂膜形成层的树脂膜形成用薄片的树脂膜形成层上层叠剥离薄片而成;树脂膜形成用薄片的外周部的剥离薄片的剥离力为0.05N/25mm以下,树脂膜形成用薄片的外周部的对SUS的粘着力为1.0N/25mm以下。
搜索关键词: 树脂 形成 薄片 层叠
【主权项】:
1.一种树脂膜形成用薄片层叠体,其在含有支撑薄片及树脂膜形成层的树脂膜形成用薄片的树脂膜形成层上层叠剥离薄片而成;使用拉伸试验机在拉伸速度300mm/分钟、T剥离法、温度/湿度=23℃/50%RH的条件下测定的树脂膜形成用薄片的外周部的剥离薄片的剥离力为0.05N/25mm以下;使用拉伸试验机且依据JIS Z0237:2009在拉伸速度300mm/分钟、180°剥离法、温度/湿度=23℃/50%RH的条件下测定的树脂膜形成用薄片的外周部的对SUS的粘着力为1.0N/25mm以下;在剥离薄片中,从树脂膜形成层侧的面沿着树脂膜形成用薄片的外周而形成有切入部,且使用光学显微镜以倍率300倍任意地测定4点所述切入部在剥离薄片的厚度方向上的深度并将其平均而算出的切入部的切入深度为大于剥离薄片的厚度的1/2。
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