[发明专利]力学量测量装置

摘要

力学量测量装置，其具备：传感器片，其具有形成于半导体基板的一面的应变检测部和与应变检测部连接的多个电极；茎部，其具有从邻接的周缘部突出的台座，并且台座的上表面通过由金属材料或玻璃材料形成的接合件与传感器片的下表面接合；引出配线部，其具备与多个电极电连接的多个配线；以及固定部，其固定茎部，茎部与固定部通过一体成形、金属接合或机械结合而被固定。 1

主权项

1.一种力学量测量装置，其特征在于，具备：

传感器片，其具有形成于半导体基板的一面的应变检测部和与上述应变检测部连接的多个电极；

茎部，其具有从邻接的周缘部突出的台座，并且上述台座的上表面通过由金属材料或玻璃材料形成的接合件与上述传感器片的下表面接合；

引出配线部，其具备与上述多个电极电连接的多个配线；以及

固定部，其固定上述茎部，

在上述茎部的与上述传感器片接合的面的相反侧的一面，形成有比上述台座宽度窄且延伸至上述台座的周缘部的外侧的槽，上述槽形成为长方形，上述槽的短边形成为比上述台座的宽度窄的长度，

上述茎部与上述固定部通过一体成形、金属接合或机械结合而被固定。

2.根据权利要求1所述的力学量测量装置，其特征在于，

上述槽形成为从上述台座的一侧边横跨相对置的另一侧边。

3.根据权利要求2所述的力学量测量装置，其特征在于，

横跨上述台座的上述槽形成为一端及另一端不从上述茎部的周缘部露出到外部。

4.根据权利要求1所述的力学量测量装置，其特征在于，

在上述茎部的与上述台座邻接的周缘部形成有与上述槽平行、或者垂直设置的至少一对槽部。

5.根据权利要求1所述的力学量测量装置，其特征在于，

在上述茎部的与上述台座邻接的周缘部形成有环绕上述台座的框状槽部。

6.根据权利要求1所述的力学量测量装置，其特征在于，

上述固定部为具有比上述茎部大的面积且对上述茎部的周缘部进行固定的被测量体。

7.根据权利要求6所述的力学量测量装置，其特征在于，

上述茎部的形成有上述台座的区域具有比上述茎部的周缘部大的刚性。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的力学量测量装置，其特征在于，

上述固定部作为筒状的压力导入部而形成。

9.根据权利要求8所述的力学量测量装置，其特征在于，

上述固定部具有开口部，上述开口部至少露出上述茎部的与上述传感器片接合的面的相反侧的一面的一部分，

通过上述传感器片，测量上述筒状的上述固定部内的压力。

10.根据权利要求8所述的力学量测量装置，其特征在于，

在上述台座的上表面和上述传感器片的下表面的至少一方形成有金属层。

11.根据权利要求8所述的力学量测量装置，其特征在于，

上述接合件形成为其周缘部达到上述台座的周缘部的至少一部分。

12.根据权利要求1所述的力学量测量装置，其特征在于，

上述台座在上述茎部成膜而形成。

13.根据权利要求1所述的力学量测量装置，其特征在于，

上述台座的相距上述邻接的周缘部的高度为300μm左右以下。