[发明专利]基板转移装置

摘要

本发明提供一种基板转移装置，所述基板转移装置包含：托盘，基板安装在所述托盘上；磁性转移部分，其安置在所述托盘下方，磁性地使所述托盘悬浮并藉由磁力转移所述托盘；导引单元，其导引所述托盘的转移而不接触所述托盘；以及间隙维持构件，其设在所述磁性转移部分与所述导引单元之间的至少一个区域上。在本发明的基板转移装置中，由于并未在托盘与磁性转移部分之间产生摩擦，因此不产生颗粒，且因此不会出现由颗粒引起的产品缺陷且不会出现诸如真空泵的零件的故障。

主权项

1.一种基板转移装置，包括：托盘，基板安装在所述托盘上；转移基底，经提供以接触所述托盘的下部侧面；磁性转移单元，其安置在所述托盘下方同时与所述转移基底隔开，并经组态以磁性地使所述托盘悬浮并藉由磁力转移所述托盘；导引单元，其经组态以导引所述托盘的所述转移而不接触所述托盘，其中所述转移基底包含经提供以接触所述托盘的所述下部侧面的接触区域以及自所述接触区域的两侧向下延伸的延伸区域，所述磁性转移单元包括：磁性悬浮部分，其安置于所述转移基底的一个区域上以磁性地使所述托盘悬浮；以及磁性转移部分，其安置在所述磁性悬浮部分下方以在一个方向上转移藉由磁力悬浮的所述托盘，所述磁性转移部分包括：磁性旋转部，其包含旋转轴以及经提供以环绕所述旋转轴的多个磁体；以及磁性转移部，其与所述磁性旋转部隔开，并包含多个磁体，所述旋转轴与所述磁性旋转部设在所述延伸区域中同时与所述延伸区域隔开，所述磁性转移部设在所述延伸区域的至少一个区域上。