[发明专利]压电振子以及压电振动装置

摘要

本发明涉及压电振子以及压电振动装置。在压电振子中，使静电电容比较大，并且，抑制杂散电容的影响。压电振子(120A)是具有彼此以相反相位振动的第一以及第二振动部的压电振子(120A)，第一以及第二振动部的每个具备硅层(220)、配设在硅层(220)之上的第一压电层(224)、配设在第一压电层(224)之上的第一电极(222)、配设在第一电极(222)之上且具有与第一压电层(224)相反方向的极化的第二压电层(225)、以及配设在第二压电层(225)之上的第二电极(223)，构成为对第一振动部的第一电极(222)和第二振动部的第二电极(223)施加第一电位，并对第一振动部的第二电极(223)和第二振动部的第一电极(222)施加第二电位。

主权项

1.一种压电振子，是具有彼此以相反相位振动的第一振动部以及第二振动部的压电振子，其中，所述第一振动部以及所述第二振动部的每个具备：硅层；第一压电层，被配设在所述硅层之上；第一电极，被配设在所述第一压电层之上；第二压电层，被配设在所述第一电极之上，并具有与所述第一压电层相反方向的极化；以及第二电极，被配设在所述第二压电层之上，构成为对所述第一振动部的所述第一电极和所述第二振动部的所述第二电极施加第一电位，并对所述第一振动部的所述第二电极和所述第二振动部的所述第一电极施加第二电位。