[发明专利]在等离子体源中引导磁场的方法和相关联的系统

摘要

一种等离子体源包括：等离子体容器，所述等离子体容器包括电介质材料，所述等离子体容器围封环形形状的空腔。所述环形形状界定贯穿该环形形状的环形轴。所述容器形成输入和输出连接装置，输入和输出连接装置中的每一个与空腔流体地连通。一个或更多个金属板设置成邻近等离子体容器以用于冷却所述等离子体容器。磁芯沿所述环形轴而设置，使得所述磁芯的相应的第一端和第二端延伸超出等离子体容器的轴向相对的各侧。第一和第二感应线圈缠绕磁芯的相应的第一端和第二端。当通过所述输入连接装置供应输入气体并且将振荡电流供应至所述第一和第二感应线圈时，在所述空腔中生成等离子体。

主权项

一种等离子体源，包括：等离子体容器，包括电介质材料，所述等离子体容器围封环形形状的空腔，所述环形形状界定贯穿所述环形形状的环形轴，所述等离子体容器形成输入连接装置和输出连接装置，所述输入连接装置和所述输出连接装置中的每一者与所述空腔流体地连通；一个或更多个金属板，设置成邻近所述等离子体容器以用于冷却所述等离子体容器；磁芯，沿所述环形轴设置，使得所述磁芯的相应的第一端和第二端延伸超出所述等离子体容器的轴向相对的各侧；以及第一感应线圈和第二感应线圈，缠绕所述磁芯的相应的第一端和第二端；其中当通过所述输入连接装置供应输入气体并且将振荡电流供应至所述第一感应线圈和所述第二感应线圈时，在所述环形空腔中生成等离子体。