[发明专利]氮化物结晶的制造方法有效
申请号: | 201580003750.7 | 申请日: | 2015-03-09 |
公开(公告)号: | CN106068340B | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 今井克宏;岩井真;坂井正宏;下平孝直;东原周平;平尾崇行 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | C30B19/04 | 分类号: | C30B19/04;C30B29/38 |
代理公司: | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人: | 王轶;郑雪娜 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 使用用于收容助熔剂和原料的坩埚6、收容坩埚6的反应容器5A~5D、收容反应容器的中间容器3、及收容中间容器且用于填充含有至少含氮原子的气体的气氛的压力容器1。在加热下使助熔剂和原料熔融而生长氮化物结晶时,使有机化合物的蒸气9扩散到反应容器外和中间容器内的空间3a。 | ||
搜索关键词: | 氮化物 结晶 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种氮化物结晶的制造方法,是使用含有助熔剂和原料的溶液制造由13族元素氮化物形成的氮化物结晶的方法,其特征在于,使用:用于收容所述助熔剂和所述原料的坩埚、收容所述坩埚的反应容器、收容该反应容器的中间容器、及收容所述中间容器且用于填充至少含有氮原子的气体的压力容器,在加热下使所述助熔剂和所述原料熔融而生长所述氮化物结晶时,使分子量大于氮的有机化合物的蒸气存在于所述反应容器外和所述中间容器内的空间。
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