[发明专利]用于盖子上MEMS麦克风的插入件

摘要

一种麦克风，包括插入件、盖子和基底。该插入件包括形成腔体的至少一个壁部。该壁部包括彼此相对的第一面和第二面。该盖子耦接到该插入件的第一面，该基底耦接到该插入件的第二面，使得该盖子和该基底封闭腔体。微电子机械系统(MEMS)设备被设置在该腔体中。该插入件在结构上支撑该盖子和该基底中的一方或双方。该插入件包括被构造成将该盖子和该基底电连接的多个镀敷区域。所述镀敷区域被构造成至少部分地露出于该腔体且对该腔体至少部分地开放。

主权项

一种麦克风，该麦克风包括：插入件，该插入件包括形成腔体的至少一个壁部，所述壁部包括第一面和第二面，所述第一面和所述第二面彼此相对；盖子，该盖子耦接到所述插入件的所述第一面；基底，该基底耦接到所述插入件的所述第二面，使得所述盖子和所述基底封闭所述腔体；设置在所述腔体中的微电子机械系统MEMS器件；使得所述插入件在结构上支撑所述盖子和所述基底中的一方或双方，所述插入件包括多个镀敷区域，该多个镀敷区域被构造成将所述盖子和所述基底电连接，所述镀敷区域被构造成至少部分地暴露于该腔体且对该腔体至少部分地开放。