[发明专利]耐热复合材料的制造方法及制造装置

摘要

向在电炉(10)内容纳的如预制体那样的具有微细结构的基材(100)供给含有原料气体、添加气体以及载流气体的混合气体，利用化学气相沉积法或化学气相含浸法沉积碳化硅来进行制膜，通过在原料气体中添加的添加气体的添加量来控制制膜的生长速度和埋入均匀性，所述原料气体含有四甲基硅烷，所述添加气体含有如氯化氢、氯代甲烷这样的含氯分子，在陶瓷纤维的预制体中含浸碳化硅的耐热复合材料的制造中，兼顾碳化硅的制膜的生长速度和埋入均匀性。

主权项

一种耐热复合材料的制造方法，特征在于，使用化学气相沉积法或化学气相含浸法，在反应炉内容纳基材并使原料气体、添加气体以及载流气体流通，在所述基材上沉积碳化硅来进行制膜，所述原料气体含有四甲基硅烷，所述添加气体含有含氯分子。