[发明专利]颗粒状物质检测元件、颗粒状物质检测传感器以及颗粒状物质检测元件的制造方法有效
| 申请号： | 201580004118.4 | 申请日： | 2015-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN105899934B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 小池和彦;今川弘胜 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06;G01N27/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及用于对被测定气体中的颗粒状物质进行检测的颗粒状物质检测元件(10)，其具有：平板状导体层(11、12)；平板状绝缘层(100)；将所述导体层(11、12)与所述绝缘层(100)交替堆积而成的层叠结构；将所述层叠结构的截面中的所述导体层(11、12)作为极性不同的一对检测电极的检测部(13)。所述导体层(11、12)具有固定膜厚，并具备截面为长条形的导体层平面部(110、120)和位于该导体层平面部两侧的逐渐变细的截面为三角形的导体层末端边缘部(111、121)。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒状 物质 检测 元件 传感器 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种颗粒状物质检测元件，其特征在于，其对随着沉积的颗粒状物质的量而变化的电特性进行计测，并用于对被测定气体中的颗粒状物质进行检测，其具有：平板状导体层；平板状绝缘层；将所述导体层与所述绝缘层在层叠方向交替堆积而成的层叠结构；以及在所述层叠结构的截面具有极性不同的所述导体层作为一对检测电极并且沉积所述颗粒状物质的检测部，其中，所述导体层具有固定膜厚，并具备截面为长条形的导体层平面部和位于该导体层平面部两侧的逐渐变细的截面为三角形的导体层末端边缘部，所述一对检测电极配置在所述层叠方向。
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