[发明专利]气体测量设备有效
申请号: | 201580004197.9 | 申请日: | 2015-01-09 |
公开(公告)号: | CN105874333B | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | W.贝特;B.劳佩斯;S.勒曼恩 | 申请(专利权)人: | 德尔格安全股份两合公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 杨国治;宣力伟 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及用于探测气体的传感器单元(10)。为了提供改善的传感器单元(10),根据本发明的一方面所述传感器单元设计具有:压力密封的测量通道(11);气体入口(12),用于将气体引入到所述测量通道中;气体出口(13),用于将气体从所述测量通道中导出;以及泵单元(14),用于抽真空所述测量通道,其中,所述测量通道具有气体传感器(15)用于探测气体以及具有加热单元(16)用于加热所述气体传感器,并且其中,所述传感器单元(10)设计用以在测量模式和再生模式中运行,其中,在所述再生模式中,所述测量通道(11)被抽真空并且所述气体传感器(15)被加热。 | ||
搜索关键词: | 气体 测量 设备 | ||
【主权项】:
1.用于探测气体的传感器单元(10),具有:/n压力密封的测量通道(11);/n气体入口(12),用于将气体引入到所述测量通道(11)中;/n气体出口(13),用于将气体从所述测量通道(11)中导出;以及/n泵单元(14),用于抽真空所述测量通道,/n其中,所述测量通道具有气体传感器(15)用于探测气体,/n其中,所述传感器单元(10)设计用以在测量模式和再生模式中运行,/n其特征在于,所述测量通道具有加热单元(16)用于加热所述气体传感器(15),其中,所述气体传感器(15)是电容上耦联的场效应晶体管传感器、悬臂传感器或表面声波传感器,其中,所述传感器单元(10)还具有控制单元用于控制所述传感器单元(10)的运行,其中,所述控制单元构造用于使所述传感器单元(10)在所述测量模式和所述再生模式之间切换以及在所述再生模式中通过所述泵单元(14)将所述测量通道(11)抽真空并且通过所述加热单元(16)将所述气体传感器(15)加热。/n
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