[发明专利]气体传感器元件

摘要

提供一种气体传感器元件，能够反映气体传感器元件的工作温度的变化，提高传感器单元对特定气体成分浓度的检测精度。气体传感器元件(1)具备：具有氧离子传导性的固体电解质体(2)、隔着基准气体空间102层叠在固体电解质体(2)上的加热器(6)、调整被测定气体空间(101)中的氧浓度的泵单元(41)、用于检测被测定气体空间(101)中的特定气体成分浓度的传感器单元(43)、以及检测加热器(6)的电子传导所形成的电流的电子传导检测单元(44)。设置在电子传导检测单元(44)的固体电解质体(2)的被测定气体G侧的表面的电子传导电极(24)被绝缘体(51)覆盖。

主权项

1.一种气体传感器元件，其特征在于，具备：固体电解质体，具有第1面及第2面，具有氧离子传导性；被测定气体空间，形成在上述固体电解质体的第1面上，被导入通过了扩散电阻体的被测定气体；基准气体空间，形成在上述固体电解质体的第2面上，被导入基准气体；加热器，直接或间接地层叠在上述固体电解质体上；传感器单元，具有设置在上述固体电解质体的第1面的传感器电极，基于在该传感器电极和设置于上述固体电解质体的第2面的基准电极之间流动的氧离子电流，检测上述被测定气体空间中的特定气体成分浓度；电子传导检测单元，具有设置在上述固体电解质体的第1面及第2面的一对电子传导电极，检测因为与上述加热器的加热相应的电子传导而在上述电子传导电极之间流动的电流；以及泵单元，具有设置在上述固体电解质体或者该固体电解质体上层叠的其他固体电解质体的两表面的一对泵电极，向该一对泵电极之间施加电压，调整上述被测定气体空间中的氧浓度，在上述固体电介质体的上述被测定气体空间侧的表面层叠着绝缘体，该绝缘体具有不使被测定气体中的氧成分透过的性质，并且用于形成上述被测定气体空间，上述电子传导电极埋设在上述绝缘体中。