[发明专利]新型芴基β-肟酯化合物、包含其的光聚合引发剂和光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201580004793.7 | 申请日： | 2015-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN105916837B | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 吴泉林;李敏善;李元重;赵镛一;辛承林;申钟一;李相悟;全根 | 申请（专利权）人： | 三养社;韩国化学研究院 |
| 主分类号： | C07C251/66 | 分类号： | C07C251/66;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及新型β‑肟酯芴衍生化合物、包括其的光聚合引发剂以及光致抗蚀剂组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 肟酯芴 化合物 包含 聚合 引发 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.化学式1的芴基β‑肟酯衍生化合物：[化学式1]![]()
在所述化学式1中，R1为氢、卤素、具有1‑20个碳原子的烷基、具有1‑20个碳原子的烷氧基、或具有3‑20个碳原子的环烷基，R2至R3各自独立地为氢、卤素、具有1‑20个碳原子的烷基、具有1‑20个碳原子的烷氧基、具有1‑20个碳原子的羟基烷基、或具有3‑20个碳原子的环烷基，并且R4至R10各自独立地为氢或卤素。
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