[发明专利]检查装置、检查方法以及记录介质有效
| 申请号： | 201580005275.7 | 申请日： | 2015-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN105934665B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 近藤正敬;北岛功朗;稻叶丰 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01M11/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;金玲 |
| 地址： | 日本国京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 检查装置对层叠有片状的光学部件的被检查体进行检查，该检查装置具有：带电部，其使光学部件带电；以及检查部，其对光学部件带电的状态下的被检查体进行检查。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 程序 以及 记录 介质 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，其对层叠有片状的光学部件的被检查体进行检查，该检查装置的特征在于，该检查装置具有：带电部，其使所述光学部件带电而相互吸附，由此减少所述光学部件间的间隙；以及检查部，其对所述光学部件带电的状态下的所述被检查体进行检查。
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