[发明专利]扫描电子显微镜及图像生成方法

摘要

在能在大气压下进行观察的带电粒子线装置中，使用使带电粒子线透过的隔膜，对配置试样的大气压空间和带电粒子光学系统侧的真空空间进行隔离。该隔膜非常薄，因此破损的情况多。因此，产生隔膜的更换频率增加，由更换作业带来的便利性下降、运转费用增加之类的问题。为了解决该课题，参照图1，扫描电子显微镜的特征在于，具备：电子光学镜筒(2)，其将一次电子线照射至试样(6)上；箱体(7)，其与电子光学镜筒内部直接连结，至少在一次电子线的照射中，使内部与上述电子光学镜筒内部相比为低真空的状态；以及隔膜(10)，其对载置试样(6)的大气压环境的空间和低真空状态的箱体的内部进行隔离，并且供上述一次电子线透过。

主权项

1.一种扫描电子显微镜，其基于通过向载置于大气压环境的空间内的试样照射电子线而从上述试样产生的信号，获得上述试样的图像，该扫描电子显微镜的特征在于，具备：电子光学镜筒，其包括电子源，将一次电子线照射至上述试样；箱体，其与上述电子光学镜筒内部直接连结，至少在上述一次电子线的照射中，使内部与上述电子光学镜筒内部相比为低真空的状态；以及隔膜，其对载置上述试样的上述大气压环境的空间和上述箱体的内部进行隔离，并且供上述一次电子线透过，至少在上述一次电子线的照射中，上述箱体内部的气压为0.1Pa以上且1000Pa以下，在上述电子光学镜筒的正下方具有孔，该孔将上述电子光学镜筒内部的气压保持为比上述箱体的内部的气压低，通过上述一次电子线向上述隔膜的照射，分解上述隔膜上的污染物，上述箱体的内部的气压能改变，具备控制部，该控制部以下述方式进行控制：在决定上述试样的观察对象位置的视野探寻模式时，使上述箱体的内部的气压为0.1Pa以上且1000Pa以下，在上述试样的图像获得模式时，使上述箱体的内部的气压为0.1Pa以下。