[发明专利]超声波检查装置以及超声波检查方法

摘要

适用于具备阵列型探针的超声波检查装置，将工件的漏水大致限制于检查面。超声波检查装置(100)具备：使检查面向下并保持工件(106)的工件支架(105)；用超声波探触工件(106)的阵列型探针(107)；在水中浸入阵列型探针(107)的水槽(109)；以使阵列型探针(107)与工件(106)检查面的下方相对的方式保持的臂116)；以液面由于蓄积于水槽(109)中的水的表面张力而与工件(106)的检查面接触状态，水平地扫描工件(106)的X轴方向扫描机构(104A、104B)，水平地扫描阵列型探针(107)的Y轴方向扫描机构(101)。

主权项

1.一种超声波检查装置，其特征在于，具备：使平面状的检查面向下地水平保持被检体的被检体保持机构；用超声波探触上述被检体的列状的阵列型探触件；使上述阵列型探触件浸入传播超声波的液体中的槽；流量控制机构，其具备连接有供给预定流量的泵并向上述槽供给上述液体的供给管道、接受从上述槽溢出的上述液体的底座以及将上述液体从上述底座向外部排出的排出管道，上述流量控制机构向上述槽中以液面不起伏的流量供给上述液体；以使上述阵列型探触件与上述被检体的检查面的下方相对的方式与上述槽一起保持的探触件保持机构；以液面由于蓄积于上述槽中的液体的表面张力而与上述被检体的检查面平行地接触的状态，水平地扫描上述被检体以及/或上述阵列型探触件的水平扫描机构；分别调整相对于上述被检体的上述槽的相对的高度及上述探触件保持机构的相对的高度的高度调整机构；以及调整上述阵列型探触件的倾斜量的倾斜量调整机构。