[发明专利](甲基)丙烯酸酯化合物、(甲基)丙烯酸类共聚物和包含其的感光性树脂组合物在审
申请号: | 201580006101.2 | 申请日: | 2015-01-30 |
公开(公告)号: | CN105934448A | 公开(公告)日: | 2016-09-07 |
发明(设计)人: | 田中博康;早川祥一;棚木宏幸;古川喜久夫;堀越裕 | 申请(专利权)人: | 三菱瓦斯化学株式会社 |
主分类号: | C08F20/28 | 分类号: | C08F20/28;C07D307/33;C07D407/12;G03F7/039 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供高灵敏度且均衡性良好而不损害作为化学增幅型抗蚀剂的分辨率、线边缘粗糙度(LER)等基本物性的抗蚀剂和抗蚀剂用化合物。本发明为通式(1)所示的(甲基)丙烯酸酯化合物和其制造方法、将通式(1)的(甲基)丙烯酸酯化合物聚合而得到的(甲基)丙烯酸类共聚物和其感光性树脂组合物。(式中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳数2~4的直链或支链状的烷基,R3表示任选相同或不同的下述式(2)或(3)等所示的基团。)(对于式(2)和(3),如本申请说明书中所述。) | ||
搜索关键词: | 甲基 丙烯酸酯 化合物 丙烯酸 共聚物 包含 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】:
一种(甲基)丙烯酸酯化合物,其如通式(1)所示,式(1)中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳数2~4的直链或支链状的亚烷基,R3表示任选相同或不同的下述式(2)、(3)、(20)或(30)所示的基团,式(2)中,R4任选相同或不同,分别独立地表示甲基、乙基、羟基或卤素基团,n1表示1~4,n2表示0~2,式(3)中,R5任选存在或不存在,存在时表示亚甲基(‑CH2‑)或氧杂(‑O‑),R6有多个时,它们任选相同或不同,分别独立地表示羟基、卤素基团、腈基、羧酸基、碳数1~4的羧酸烷基或碳数1~4的烷氧基,n3表示0~2,式(20)中,R14、R15和R16任选相同或不同,分别独立地表示碳数1~13的环状、直链或支链状的烷基,R15和R16任选键合而形成环结构,式(30)中,R7表示碳数1~10的环状、直链或支链状的烷基,或包含氧原子的碳数1~10的环状、直链或支链状的烷基。
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