[发明专利]控制装置及激光加工装置有效
| 申请号： | 201580006174.1 | 申请日： | 2015-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN105940345B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 森本猛;茂木治;竹内昌裕 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/37 | 分类号： | G02F1/37;B23K26/00;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 控制装置具有：储存部，其储存移动光学系统的初始位置和移动光学系统的移动容许范围，该移动光学系统调整从波长转换晶体输出的谐波激光的束径，该移动容许范围是利用相对于初始位置的距离而定义的；以及控制部，其以使得谐波激光的在被加工物之上的输出值即加工点输出值大于或等于第1设定值的方式使移动光学系统的位置移动，并且对移动后的移动光学系统的位置是否处于移动容许范围内进行判定，在处于移动容许范围外的情况下，将进行波长转换晶体的移动的指示输出至外部。 | ||
| 搜索关键词： | 移动光学系统 移动 输出 波长转换晶体 控制装置 谐波激光 激光加工装置 被加工物 储存部 加工点 束径 判定 储存 外部 | ||
【主权项】：
1.一种控制装置，其特征在于，具有：储存部，其储存准直透镜的初始位置和所述准直透镜的移动容许范围，该准直透镜调整从波长转换晶体向掩模侧输出的谐波激光的在掩模位置处的束径，该移动容许范围是利用相对于所述初始位置的距离而定义的；以及控制部，其以使得所述谐波激光的在被加工物之上的输出值即加工点输出值大于或等于第1设定值的方式使所述准直透镜沿光轴方向进行移动，并且对移动后的所述准直透镜的位置是否处于所述移动容许范围内进行判定，在处于所述移动容许范围外的情况下，输出使所述波长转换晶体相对于光路沿垂直方向进行移动的指示。
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