[发明专利]真空泵

摘要

提供一种真空泵，该真空泵能够仅将从螺纹槽排气流路的出口附近到排气端口的流路效率良好地加热，适合防止因螺纹槽排气流路的出口附近或前述流路中的工艺气体的温度下降造成的生成物的堆积。真空泵（P1）具备：螺纹槽排气部（Ps），该螺纹槽排气部（Ps）在转子（6）（旋转体）的内周侧和外周侧的至少一部分上具备螺纹槽排气流路（R1）、（R2）；外装箱（1），该外装箱（1）将螺纹槽排气部（Ps）包含在内部；排气端口（3），该排气端口（3）将由螺纹槽排气部（Ps）压缩的气体向外装箱（1）之外排出；隔壁（21），该隔壁（21）将从螺纹槽排气流路（R1）、（R2）的出口到排气端口（3）的流路（S）覆盖。

主权项

一种真空泵，其特征在于，具备：螺纹槽排气部，该螺纹槽排气部在旋转体的内周侧和外周侧的至少一部分上具备螺纹槽排气流路；外装箱，该外装箱将前述螺纹槽排气部包含在内部；排气端口，该排气端口将由前述螺纹槽排气部压缩的气体向前述外装箱之外排出；隔壁，该隔壁将从前述螺纹槽排气流路的出口到前述排气端口的流路覆盖。