[发明专利]用于对由待测电子装置所辐射出的电磁场进行高分辨率空间扫描的扫描仪系统和方法在审
| 申请号： | 201580006387.4 | 申请日： | 2015-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN105940309A | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 拉什卡·帕顿;周毅平;吉尔·蒙塔格;罗伯特·薛 | 申请（专利权）人： | 艾玛斯堪公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R29/08;G01R23/16 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可操作用于对由待测电子装置(DUT)所辐射出的电磁场进行高分辨率空间扫描的扫描系统和方法。使用包括多个空间上分隔的切换式探针、分析器和电脑的探针阵列来测量由所述DUT辐射出的电磁场水平。致动器使所述探针阵列相对于所述DUT的位置改变小于或等于这些探针之间的分隔距离的距离，且再次测量并存储所述电磁场水平。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子 装置 辐射 电磁场 进行 高分辨率 空间 扫描 扫描仪 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种可操作用于对由待测电子装置(DUT)所辐射出的电磁场进行高分辨率空间扫描的扫描仪系统，所述扫描仪系统包括：(a)探针阵列，其包括多个切换式探针，其中相邻的探针以分隔距离分开；(b)分析器，其连接至所述探针阵列，用于基于由所述辐射出的电磁场在各探针中所引发的信号来确定各探针位置上的电磁场水平；(c)致动器，用于将所述探针阵列相对于所述DUT的位置从第一阵列位置改变至第二阵列位置；(d)计算机，其包括处理器和内存，其中所述处理器可操作地连接至所述分析器和所述致动器，且其中所述内存组件储存可由所述处理器执行的一组指令以实施包括以下步骤的方法：(i)当所述探针阵列处于所述第一阵列位置时，测量各探针上的电磁场水平，以在处于所述第一阵列位置时建立所述探针阵列中的各探针位置上的电磁场水平的第一数据集；(ii)控制所述致动器以将所述探针阵列相对于所述DUT的位置从所述第一阵列位置改变至所述第二阵列位置；并且(iii)当所述探针阵列处于所述第二阵列位置时，测量各探针上的电磁场水平，以在处于所述第二阵列位置时建立所述探针阵列中的各探针位置上的电磁场水平的第二数据集。
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