[发明专利]用于压力测量的机电微型装置

摘要

描述了一种用于压力测量的机电微型装置，该装置包括：至少一个第一机电微型压力传感器元件，配置成检测相应的第一压力值并且生成表示所述第一压力值的第一电信号；进一步包括至少一个第二机电微型压力传感器元件，配置成检测相应的第二压力值且生成表示第二压力值的第二电信号。第二传感器元件设置在适合于密封其的壳体内。该装置进一步包括电子处理装置，可操作地连接至第一传感器元件和第二传感器元件，并且被配置成基于所述第一电信号和第二电信号，确定测量的压力值；并且最后包括接口装置，可操作地连接至电子处理装置，并配置成在输出时提供测量的压力值。第一传感器元件和第二传感器元件、电子处理装置以及接口装置包含在单个集成装置内。

主权项

一种用于压力测量的机电微型装置(1)，包括：‑至少一个第一机电微型压力传感器元件(11)，被配置成检测相应的第一压力值(P₁)并且生成表示所述第一压力值(P₁)的第一电信号(S₁)；‑至少一个第二机电微型压力传感器元件(12)，设置在适合于密封所述第二传感器元件(12)的相应壳体(13)内，并且被配置成检测相应的第二压力值(P₂)并且生成表示所述第二压力值(P₂)的第二电信号(S₂)；‑电子处理装置(10)，可操作地连接至所述第一传感器元件(11)和所述第二传感器元件(12)，所述电子处理装置被配置成基于所述第一电信号(S₁)和所述第二电信号(S₂)确定测量的压力值(P)；‑接口装置(15)，可操作地连接至所述电子处理装置(10)，并且被配置成在输出时提供所述测量的压力值(P)，其中，所述第一传感器元件(11)和所述第二传感器元件(12)、所述电子处理装置(10)以及所述接口装置(15)包含在单个集成装置内。