[发明专利]用于自动校正像散的方法

摘要

该方法用于透镜系统的自动像散校正。在透镜组的第一消像散器设置下，提供未被聚焦的第一图像(96)。计算装置计算相应的第一傅立叶光谱图像(312)。通过计算第一矢量(132)和第二矢量(134)，确定傅立叶光谱图像(128，130，312)的像素的分布和方向。将第一矢量(132)与第二矢量(134)相比较。将透镜系统从第一消像散器设置改变为第二消像散器设置以提供第二图像(98)。计算相应的傅立叶光谱图像(314)。通过计算第三矢量和第四矢量来确定第二傅立叶光谱图像(314)的像素的分布和方向。将第三矢量与第四矢量相比较。选择具有最低的矢量比率的图像。

主权项

1.一种用于电子显微镜中的透镜系统的自动像散校正的方法，包括：在透镜的第一消像散器设置(96)下提供未被聚焦的视图的第一图像，基于第一消像散器设置(96)下的第一图像，计算装置计算第一傅立叶光谱图像(312)，通过计算第一傅立叶光谱图像的灰度加权矩来确定第一傅立叶光谱图像(312)中的明亮像素的强度的分布和方向，其中第一傅立叶光谱图像的归一化灰度加权矩的协方差矩阵具有在第一傅立叶光谱图像(312)中的明亮像素的第二最长伸长方向上的第一特征矢量(132)和在第一傅立叶光谱图像(312)中的明亮像素的最长伸长方向上的第二特征矢量(134)，其中，第一傅立叶光谱图像(312)中的明亮像素的最长伸长方向和第二最长伸长方向相互垂直，将第一特征矢量(132)的长度与第二特征矢量(134)的长度进行比较，将透镜从第一消像散器设置(96)改变到第二消像散器设置(98)，以提供未被聚焦的所述视图的第二图像，基于第二消像散器设置(98)下的第二图像，计算装置计算第二傅立叶光谱图像(314)，通过计算第二傅立叶光谱图像的灰度加权矩来确定第二傅立叶光谱图像(314)中的明亮像素的强度的分布和方向，其中第二傅立叶光谱图像的归一化灰度加权矩的协方差矩阵具有在第二傅立叶光谱图像(314)中的明亮像素的第二最长伸长方向上的第三特征矢量和在第二傅立叶光谱图像(314)中的明亮像素的最长伸长方向上的第四特征矢量，其中，第二傅立叶光谱图像(314)中的明亮像素的最长伸长方向和第二最长伸长方向相互垂直，将第三特征矢量的长度与第四特征矢量的长度进行比较，当与第三特征矢量相对于第四特征矢量相比在长度方面第一特征矢量更类似于第二特征矢量时，选择第一消像散器设置(96)下的第一图像，以及当与第一特征矢量相对于第二特征矢量相比在长度方面第三特征矢量更类似于第四特征矢量时，选择第二消像散器设置(98)下的第二图像。