[发明专利]弹性波装置

摘要

提供能实现高声速化和低损耗化的弹性波装置。弹性波装置(1)在LiNbO3基板(2)上设置IDT电极(3)，层叠氮化铝膜(4)或氮化硅膜以覆盖IDT电极(3)，且利用了漏泄弹性波。IDT电极(3)由从Cu、Al、Au、Pt以及Ni所构成的组中选择的一种金属来构成。在弹性波装置(1)中，在将LiNbO3的欧拉角设为(0°±5°，θ，0°±5°)、将IDT电极(3)的波长标准化厚度设为X、将欧拉角的θ设为Y时，对应于氮化铝膜(4)或氮化硅膜的波长标准化厚度范围、构成IDT电极(3)的金属的种类和IDT电极(3)的波长标准化厚度的范围，将欧拉角的θ即Y设为特定的范围。

主权项

1.一种弹性波装置，具备：LiNbO3基板；IDT电极，设置在所述LiNbO3基板上；和氮化铝膜，设置在所述LiNbO3基板上以覆盖所述IDT电极，所述弹性波装置利用了在所述LiNbO3基板中传播的漏泄弹性波，其中，所述IDT电极由以从Cu、Al、Au、Pt及Ni所构成的组中选择的一种材料为主体的金属来构成，在将所述LiNbO3基板的欧拉角设为(0°±5°，θ，0°±5°)、将所述IDT电极的波长标准化厚度设为X、将所述欧拉角的θ设为Y时，对应于构成所述IDT电极的金属的种类以及所述氮化铝膜的波长标准化厚度的范围，将所述欧拉角的θ即Y设为下述的表1～表5所示的任意一个范围，[表1][表2][表3][表4][表5]