[发明专利]静电容量式三维传感器有效
| 申请号： | 201580007343.3 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105980970B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 小林佑辅;国分义幸 | 申请（专利权）人： | 信越聚合物株式会社 |
| 主分类号： | G06F3/044 | 分类号： | G06F3/044;G06F3/041 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆;纪秀凤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的静电容量式三维传感器(1)具备XY方向位置检测用电极体(60)以及配置成与XY方向位置检测用电极体(60)重合的Z方向位置检测用电极体(20)，具备设置在XY方向位置检测用电极体(60)中Z方向位置检测用电极体(20)侧的面的多个点间隔件(50)，以及将多个点间隔件50粘合于Z方向位置检测用电极体(20)的间隔件粘合层(40)，在XY方向位置检测用电极体(60)和间隔件粘合层(40)之间形成空隙的状态下，多个点间隔件(50)一部分埋设并粘合于间隔件粘合层(40)的内部。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 容量 三维 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种静电容量式三维传感器，其中，所述静电容量式三维传感器具备检测XY方向的位置的片状的XY方向位置检测用电极体、以及配置成与所述XY方向位置检测用电极体重合、检测Z方向的位置的片状的Z方向位置检测用电极体，所述XY方向位置检测用电极体包括用于检测XY方向的位置的一对导电膜，所述Z方向位置检测用电极体包括用于检测Z方向的位置的导电膜，在所述静电容量式三维传感器中，包括设置在所述XY方向位置检测用电极体的所述Z方向位置检测用电极体侧的面的多个点间隔件，以及将所述多个点间隔件粘合于Z方向位置检测用电极体的间隔件粘合层，在所述XY方向位置检测用电极体和所述间隔件粘合层之间形成有空隙的状态下，所述多个点间隔件一部分埋设并粘合于所述间隔件粘合层的内部，所述Z方向位置检测用电极体在间隔件粘合层侧具备弹性变形层，所述弹性变形层由厚度为1cm时的肖氏A硬度为85以下的材料形成，所述多个点间隔件的前端接于所述Z方向位置检测用电极体所具备的弹性变形层侧的表面，所述点间隔件通过不能弹性变形的材料形成。
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