[发明专利]一种相位误差补偿方法及装置

摘要

一种相位误差补偿方法及装置，包括：通过相移轮廓术测量系统获取条纹序列图(S101)；基于希尔伯特变换将所述条纹序列图由空域变换到希尔伯特变换域(S102)；基于最小二乘相移法，分别对空域和希尔伯特变换域的所述条纹序列图求解相位，得到空域的相位图和希尔伯特变换域的相位图(S103)；对所述空域的相位图和所述希尔伯特变换域的相位图进行平均，得到平均相位，利用所述平均相位进行相位误差补偿(S104)。本发明具有自补偿机制，无需额外的辅助条件，满足基于相移轮廓术的高速、高精度、高普适性的三维数字成像和测量要求。

主权项

1.一种相位误差补偿方法，其特征在于，包括：通过相移轮廓术测量系统获取一组条纹序列图，条纹序列中第n幅相移图的强度为：其中，A是条纹背景强度，B是条纹调制强度，φ是经待测表面调制的真实相位，B₀是直流分量，B_k是k阶谐波的强度大小，δ_n＝2π(n‑1)/N是第n幅相移图的相移量，N是相移轮廓术测量系统所使用的相移轮廓术的相移步数，φ_n＝φ+δ_n是调制的相移相位，γ是系统的gamma系数，表征系统的非线性效应，n＝1、2……N；基于希尔伯特变换，对所述一组条纹序列图中每个相移图的强度均进行希尔伯特变换，得到希尔伯特变换后的强度其中，为相移轮廓术测量系统输出的条纹序列中第n幅相移图在希尔伯特变换后的强度；利用得到空域的相位图，利用得到希尔伯特变换域的相位图；通过对所述空域的相位图和所述希尔伯特变换域的相位图进行平均，得到平均相位φ^M，利用所述平均相位φ^M进行相位误差补偿。