[发明专利]过程窗口的优化方法有效
| 申请号： | 201580008223.5 | 申请日： | 2015-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN105980934B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·亨斯克;V·维拉恩基 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明披露一种用于器件制造过程的由计算机实施的缺陷预测方法，该器件制造过程涉及将图案加工至衬底上，该方法包括从该图案识别出工艺窗口限制图案(PWLP)；确定所述PWLP被加工所依据的工艺参数；和使用所述工艺参数来确定或预测利用所述器件制造过程由所述PWLP产生的缺陷的存在、存在机率、特性、或其组合。 | ||
| 搜索关键词： | 过程 窗口 优化 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于器件制造过程的由计算机实施的缺陷确定或预测方法，所述器件制造过程涉及将图案加工至衬底上，所述方法包括：从所述图案识别出工艺窗口限制图案(PWLP)；确定所述工艺窗口限制图案被加工所依据的工艺参数；和使用所述工艺参数来确定或预测利用所述器件制造过程由所述工艺窗口限制图案产生的缺陷的存在、存在机率、特性、或其组合。
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