[发明专利]直接描画装置用的GUI装置、直接描画系统、描画区域设定方法以及记录介质

摘要

本发明提供一种直接描画装置用的GUI装置、直接描画系统、描画区域设定方法以及程序，能够用很少的工作量且直观地设定圆形状的基板上的圆弧带状区域作为直接描画装置的描画区域或者非描画区域。在GUI装置的画面(7)所示的输入区域(90)中的区域(92)中输入与圆弧带状区域的圆周方向的长度关联的角度信息，在区域(93)中输入从基板的中心到圆弧带状区域的长度信息，在区域(94)中输入圆弧带状区域在径向上的宽度信息，来设定应该利用直接描画装置进行描画的圆弧带状区域。

主权项

1.一种直接描画装置用的GUI装置，所述直接描画装置对在圆形状的基板的表面上形成的光致抗蚀剂膜描画图案，所述GUI装置用于将基板内的圆弧带状区域设定为描画区域或者非描画区域，其特征在于，具有：显示部，具有画面，操作部，操作所述显示部的所述画面，显示控制部，控制所述显示部的画面显示；所述显示控制部具有：周信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入与圆弧带状区域的圆周方向的长度关联的信息的输入区域，径信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入在基板的径向上的圆弧带状区域的位置信息的输入区域，宽度信息输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入圆弧带状区域在径向上的宽度信息的输入区域，描画指示输入部，在所述显示部的所述画面上显示用于输入圆弧带状区域为描画区域或者非描画区域中的哪一个的输入区域，该圆弧带状区域由所述径信息输入部、所述周信息输入部以及所述宽度信息输入部设定，确认显示部，在显示部的画面上显示基板外形和所述圆弧带状区域，所述圆弧带状区域基于利用操作部分别输入到所述径信息输入部、所述周信息输入部、所述宽度信息输入部以及所述描画指示输入部的信息来设定。