[发明专利]支撑基板的装置以及操作静电夹的方法

摘要

本发明提供一种支撑基板的装置以及操作静电夹的方法。支撑基板的装置可包括基座以及邻近于基座并配置来用于支撑基板表面的绝缘部分。所述装置还可包括电极系统，以提供夹持电压给基板，其中配置绝缘部分以藉由具有通道宽度的至少一通道来提供气体给基板，其中气体压力以及通道宽度的乘积小于气体的帕申最小值，其中帕申最小值为气体的崩溃电压为最小值下外壳的表面的间距与压力的乘积。本发明能够避免基板被污染。

主权项

一种支撑基板的装置，其特征在于包括：基座；绝缘部分，邻近所述基座，配置以支撑所述基板的表面；以及电极系统，提供夹持电压给所述基板；其中配置所述绝缘部分以经由至少一通道而提供气体给所述基板，所述至少一通道具有通道宽度，其中所述气体的气体压力与所述通道宽度的乘积小于所述气体的帕申最小值，其中所述帕申最小值为所述气体的崩溃电压为最小值下外壳的表面的间距与压力的乘积。